電子碳盤查

半導體業碳盤查要注意什麼？

半導體碳盤查三大重點：(1) 製程氣體清點—CVD、蝕刻用的 CF4、C2F6、NF3、CHF3 等高 GWP 氣體，需要依 IPCC Tier 2a 方法計算去除效率後的排放量；(2) 電力分攤—晶圓廠用電量大，要建立合理的產品別/製程別分攤邏輯；(3) PFC 減排設備效率—有裝 Local Scrubber 的排放量遠低於未安裝的，但要提供效率證明。半導體碳盤查的技術門檻最高，建議找有經驗的團隊。